刘裕在灭掉司马家族之后，对司马家的成员进行了大规模的屠杀，但具体有多少人被杀害却一直没有一个明确的数字。以下是相关史料的记载：

《资治通鉴》记载，刘裕攻灭司马家族后，“斩首三万级”。

《南史》则记载“杀其宗族男女无遗类”。

这两种说法之间存在着较大的差异，因此我们需要进一步研究其他的历史资料，以确定具体的数字。

此外，还有一些史料提到刘裕杀了六个皇帝，灭司马家全族，最终其子孙也被全部杀光。但这些说法的权威性和准确性较低，不能作为确凿的证据。

综合以上信息，可以得出以下结论：

刘裕对司马家族成员进行了大规模屠杀，但具体死亡人数存在争议，可能是三万级，也可能是无遗类。

存在一些司马家族成员逃到北朝，如司马休之、司马文思、司马国璠、司马道赐等。

仍有少数司马氏后人隐姓埋名，散落民间。

因此，虽然刘裕对司马家族进行了大规模的清洗和屠杀，但并不能确定具体的死亡人数。